Российские инженеры прототип установки для производства современной микроэлектроники создали.
06.12.2023 в 17:28
В 2024 году должна быть готова "Альфа - Машина". Уже с этого момента установка станет рабочим оборудованием и будет рассчитана на проведение полного цикла операций. Однако упор на этом этапе будет сделан не на высокую скорость её работы или разрешение, а на полноценную реализацию всех систем.
На втором этапе в 2026 году появится "Бета - Машина". Системы будут улучшены и усложнены, увеличится разрешение, повысится производительность, многие операции будут роботизированы.
Наконец, на третьем этапе (2026-2028 годы) русский литограф получит более мощный источник излучения, улучшенные системы позиционирования и подачи, станет работать быстро и точно.